元素分析技術(shù)會(huì)遇到必須糾正或補(bǔ)償?shù)母蓴_，以獲得足夠的分析結(jié)果。

　　在XRF光譜測(cè)定中，主要干擾來(lái)自物質(zhì)中可能影響（矩陣效應(yīng)）感興趣元素分析的其他特定元素。然而，這些干擾是眾所周知的并記錄在案；并且系統(tǒng)軟件中的儀器升級(jí)和數(shù)學(xué)校正可以輕松快速地糾正它們。

　　在某些情況下，樣品的幾何形狀可影響XRF分析，但是通過(guò)選擇最佳采樣面積，研磨或拋光樣品或通過(guò)壓制顆粒，可以很容易地進(jìn)行補(bǔ)償。

　　定量元素分析

　　XRF光譜法使用經(jīng)驗(yàn)方法（使用與未知物質(zhì)相似的標(biāo)準(zhǔn)品的校準(zhǔn)曲線）或基本參數(shù)（FP）進(jìn)行定量元素分析。

　　FP是優(yōu)選的，因?yàn)樗试S在沒(méi)有標(biāo)準(zhǔn)或校準(zhǔn)曲線的情況下執(zhí)行元素分析。這使得分析人員可以立即使用該系統(tǒng)，而無(wú)需花費(fèi)額外的時(shí)間為感興趣的各種元素和材料設(shè)置單獨(dú)的校準(zhǔn)曲線。